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商品分類
真空閥
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鋁製 高真空L型閥 常時閉/伸縮囊密封 XLA Series
SMC
外洩空氣量少高真空閥。
【特長】
・採用鋁製本體
・均一的烤焙溫度
・輕量・輕巧化
・重金屬污染少
・對氟素氣體的腐蝕性強
・伸縮囊可以更換（伸縮囊密封型）
・降低了維修成本與減少了廢棄物的產生標準出貨日: 19天 -
SMC
即使無工作物，也會抑制真空壓力下降。
【特長】
・以1個真空產生器使用多個真空吸盤時，即使是未吸附狀態的吸盤，由於抑制真空力下降，所以能保持工作物
・追加附快速接頭
・不需要工作物變更的切換作業
・工作物形狀不同時，控制迴路可簡略化標準出貨日: 8天～ -
鋁製 高真空L型閥 二段控制・單動/伸縮囊密封・O形環密封 XLD Series
SMC
防止幫浦過負荷運轉的高真空L型閥。
【特長】
・初期的排氣閥和主要排氣閥的一體化（流量二段控制閥）
・實現系統的緊密化及省配管化
・排氣時，防止隔離室內的灰塵揚起
・可調整初期排氣閥的流量
・氣控式/附電磁閥
・因外洩空氣量少， 因此幫浦能力只要採用小型規格， 排氣時間也可縮短
・不含Ni （鎳）、Cr（鉻）等重金屬，因濺射率也小， 因此晶圓片上的重金屬污染變少
・對氟素有優異的耐腐蝕性
・熱傳導率優異， 本體全體可達均一溫度， 生成物的附著急遽減少。
・輕量・輕巧化標準出貨日: 19天 -
SMC
降低發塵，密封性能提昇的常時閉型高真空電磁閥 XSA Series 。
【特長】
・難燃性（依據UL94V-0）
・2種接頭（面密封接頭・卡套式接頭）、母螺牙（Rc、NPT）
・因彈簧從鐵芯摩擦部移動到本體部，降低了彈簧接觸所造成的發塵
・大的彈簧力，確實的密封
・消耗電力※：4.5W（尺寸1）/7W（尺寸2）/10.5W（尺寸3）（※※DC規格／B種的場合。）
・使用溫度範圍：5～60℃標準出貨日: 19天 -
SMC
初期給氣、主給氣都可做流量調整的緩和開啟閥。
【特長】
・閥與針閥一體化構造配管空間1/4（既有比）
・底座部採用金屬膜片,使粉塵大幅降低
・閥的型式：常時閉（加壓開・彈簧密封）
・使用流體：氮氣、空氣、惰性氣體等
・使用溫度：5～60℃（烤焙溫度、150℃以下）
・質量：0.5kg標準出貨日: 19天 -
SMC
壓力平衡構造，排氣方向自由的高真空型L型閥。
【特長】
・伸縮囊式無塵化
・低操作扭矩（0.5N・m以下）
・閥開閉時旋鈕高度一定
・備有開關確認用的指示器
・耐氟素強
・輕量・輕巧
・熱傳導率優異， 本體全體可達均一溫度， 生成物的附著急遽減少
・因外洩空氣量少， 因此幫浦能力只要採用小型規格， 排氣時間也可縮短
・不含Ni （鎳）、Cr（鉻）等重金屬，因濺射率也小， 因此晶圓片上的重金屬污染變少標準出貨日: 8天 -
不鏽鋼製高真空L型／直線型閥 常時閉/伸縮囊密封 XMA・XYA Series
SMC
壓力平衡構造的真空閥。
【特長】
・伸縮囊式無粉塵、無塵化
・本體材質：SCS13（相當於SUS304）
・沒有氣體貯留的精密鑄造一體構造
・與鋁製高真空L型閥XL系列的安裝有互換性(XM Series)
・輕量・輕巧標準出貨日: 19天 -
不鏽鋼製 高真空L型・直線型閥 二段控制・單動 伸縮囊密封・O形環密封 XMD・XYD
SMC
防止幫浦過負荷運轉的高真空閥。
【特長】
・初期的排氣閥和主要排氣閥的一體化（流量二段控制閥）
・實現系統的緊密化及省配管化
・排氣時，防止隔離室內的灰塵揚起
・可調整初期排氣閥的流量
・本體材質：SCS13（相當於SUS304）
・沒有氣體貯留的精密鑄造一體構造造
・與鋁製高真空L型閥XL系列的安裝有互換性(XM Series)標準出貨日: 19天 -
SMC
【特長】
・採用鋁製本體
・均一的烤焙溫度
・輕量・輕巧化
・外洩空氣量少
・重金屬污染少
・對氟素氣體的腐蝕性強
・伸縮囊可以更換標準出貨日: 19天 -
鋁製 高真空L型閥 常時閉/伸縮囊密封 XLAV Series 附電磁閥
SMC
外洩空氣量少高真空閥。
【特長】
・採用鋁製本體
・均一的烤焙溫度
・輕量・輕巧化
・重金屬污染少
・對氟素氣體的腐蝕性強
・伸縮囊可以更換（伸縮囊密封型）
・降低了維修成本與減少了廢棄物的產生標準出貨日: 19天 -
標準出貨日: 19天 -
標準出貨日: 19天 -
標準出貨日: 19天
| 廠牌 |
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| 系列名稱 |
| CAD |
| 標準出貨日 |
| 種類 |
| 用途 |
| 設置方法 |
| 孔口數 |
| 電磁閥種類 |
| 切換種類 |
| 電磁閥驅動種類 |
| 有效截面積(mm2) |
| 配管口的種類 |
| 配管螺牙No. |
| 連接軟管直徑 |
| 法蘭種類 |
| 法蘭公稱 |
| CV值 |
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| 廠牌 | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC |
| 系列名稱 | |||||||||||||
| CAD |
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| 標準出貨日 | 19天 | 8天～ | 19天 | 19天 | 19天 | 8天 | 19天 | 19天 | 19天 | 19天 | 19天 | 19天 | 19天 |
| 種類 | 氣動真空閥 | 氣動真空閥 | 氣動真空閥 | 高真空用電磁閥 | 手動真空閥 | 手動真空閥 | 氣動真空閥 | 引導真空閥 | 引導真空閥 | 高真空用電磁閥 | 高真空用電磁閥 | 引導真空閥 | 引導真空閥 |
| 用途 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 |
| 設置方法 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 |
| 孔口數 | 3口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 3口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 |
| 電磁閥種類 | - | - | - | 單動 | - | - | - | - | - | 單動 | 單動 | - | - |
| 切換種類 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 |
| 電磁閥驅動種類 | - | - | - | 直動型 | - | - | - | - | - | 氣導 | 直動型 | - | - |
| 有效截面積(mm2) | - | 0.07 ～ 0.78 | - | - | 4.6 | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 配管口的種類 | 法蘭 | M / 快速配管 | 法蘭 | Rc / 端面密封接頭 / 壓縮接頭 | 插入式接頭 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 |
| 配管螺牙No. | - | M5 | - | 1/4 / 3/8 | 1/4 | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 連接軟管直徑 | - | φ4 / φ6 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 法蘭種類 | NW | - | KF | - | - | KF | NW | KF / CF | KF | NW | KF | KF | KF |
| 法蘭公稱 | 16 / 25 / 40 | - | 25 / 40 / 50 / 80 | - | - | 16 | 25 / 40 | 40 | 25 | 50 | 25 | 25 | 25 / 40 |
| CV值 | - | 0.0037940379 ～ 0.0422764228 | - | - | 84.87 | - | - | - | - | - | - | - | - |
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篩選條件
篩選規格・尺寸
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種類
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用途
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設置方法
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孔口數
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電磁閥種類
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切換種類
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電磁閥驅動種類
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有效截面積(mm2)
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配管口的種類
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配管螺牙No.
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連接軟管直徑
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法蘭種類
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法蘭公稱
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CV值
CAD檔案
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- 2D
- 3D
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