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鋁製 高真空L型閥 手動／伸縮囊密封 XLH Series
SMC VACUUM VALVE
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壓力平衡構造，排氣方向自由的高真空型L型閥。
【特長】
・伸縮囊式無塵化
・低操作扭矩（0.5N・m以下）
・閥開閉時旋鈕高度一定
・備有開關確認用的指示器
・耐氟素強
・輕量・輕巧
・熱傳導率優異， 本體全體可達均一溫度， 生成物的附著急遽減少
・因外洩空氣量少， 因此幫浦能力只要採用小型規格， 排氣時間也可縮短
・不含Ni （鎳）、Cr（鉻）等重金屬，因濺射率也小， 因此晶圓片上的重金屬污染變少
(i)請注意
- 詳細規格、材質請參照型錄內容。
- 網頁顯示之商品圖片為系列代表圖。實際商品圖片請參考商品型錄。詳細形狀請參考商品型錄。
- 部分型號無提供CAD圖檔。
型號
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XLH-16
本頁所標註的為參考用的標準出貨日。確切的預定到貨日請以訂購完成通知書的資訊為準。
基本資訊
| 種類 | 手動真空閥 | 用途 | 單體使用 | 設置方法 | 直接 |
|---|---|---|---|---|---|
| 孔口數 | 2口閥 | 切換種類 | 2位置常關 | 配管口的種類 | 法蘭 |
| 法蘭種類 | KF | 法蘭公稱 | 16 | 密封種類 | 波紋管密封 |
| 音速傳導率 | 5L/S | 密封材質 | FKM（配合No.：1349-80） | 洩漏量(Pa・m3/s) | 內部：1.3×10的-10次方 外部：1.3×10的-11次方 |
| 本體表面處理 | 外部：硬質陽極處理，內部：素面 | 密封變更處 | 無 | 有無加熱器 | 無 |
鋁製 高真空L型閥 手動／伸縮囊密封 XLH Series的型號XLH-16頁面。
記載關於型號XLH-16之規格、尺寸、型式情報。
- 因有部分型號的規格・尺寸無法完全顯示，詳細資訊請參照 廠牌產品型錄 。
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