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SMC 真空閥

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  • 真空輔助閥 ZP2V Series

    真空輔助閥 ZP2V Series

    SMC

    即使無工作物,也會抑制真空壓力下降。【特長】・以1個真空產生器使用多個真空吸盤時,即使是未吸附狀態的吸盤,由於抑制真空力下降,所以能保持工作物・追加附快速接頭・不需要工作物變更的切換作業・工作物形狀不同時,控制迴路可簡略化

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  • 常時閉型高真空電磁閥 XSA Series

    常時閉型高真空電磁閥 XSA Series

    SMC

    降低發塵,密封性能提昇的常時閉型高真空電磁閥 XSA Series 。【特長】・難燃性(依據UL94V-0)・2種接頭(面密封接頭・卡套式接頭)、母螺牙(Rc、NPT)・因彈簧從鐵芯摩擦部移動到本體部,降低了彈簧接觸所造成的發塵・大的彈簧力,確實的密封・消耗電力※:4.5W(尺寸1)/7W(尺寸2)/10.5W(尺寸3)(※※DC規格/B種的場合。)・使用溫度範圍:5~60℃

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  • 鋁製 高真空L型閥 常時閉/伸縮囊密封 XLA Series

    鋁製 高真空L型閥 常時閉/伸縮囊密封 XLA Series

    SMC

    外洩空氣量少高真空閥。【特長】・採用鋁製本體・均一的烤焙溫度・輕量・輕巧化・重金屬污染少・對氟素氣體的腐蝕性強・伸縮囊可以更換(伸縮囊密封型)・降低了維修成本與減少了廢棄物的產生

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    標準出貨日: 19天
  • 鋁製 高真空L型閥 二段控制・單動/伸縮囊密封・O形環密封 XLD Series

    鋁製 高真空L型閥 二段控制・單動/伸縮囊密封・O形環密封 XLD Series

    SMC

    防止幫浦過負荷運轉的高真空L型閥。【特長】・初期的排氣閥和主要排氣閥的一體化(流量二段控制閥)・實現系統的緊密化及省配管化・排氣時,防止隔離室內的灰塵揚起・可調整初期排氣閥的流量・氣控式/附電磁閥・因外洩空氣量少, 因此幫浦能力只要採用小型規格, 排氣時間也可縮短・不含Ni (鎳)、Cr(鉻)等重金屬,因濺射率也小, 因此晶圓片上的重金屬污染變少・對氟素有優異的耐腐蝕性・熱傳導率優異, 本體全體可達均一溫度, 生成物的附著急遽減少。・輕量・輕巧化

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  • 不鏽鋼製高真空L型/直線型閥 常時閉/伸縮囊密封 XMA・XYA Series

    不鏽鋼製高真空L型/直線型閥 常時閉/伸縮囊密封 XMA・XYA Series

    SMC

    壓力平衡構造的真空閥。【特長】・伸縮囊式無粉塵、無塵化・本體材質:SCS13(相當於SUS304)・沒有氣體貯留的精密鑄造一體構造・與鋁製高真空L型閥XL系列的安裝有互換性(XM Series)・輕量・輕巧

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    標準出貨日: 19天
  • 鋁製 高真空L型閥 複動/O形環密封 XLG Series

    鋁製 高真空L型閥 複動/O形環密封 XLG Series

    SMC

    【特長】・採用鋁製本體・均一的烤焙溫度・輕量・輕巧化・外洩空氣量少・重金屬污染少・對氟素氣體的腐蝕性強

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  • 鋁製 高真空L型閥 複動/伸縮囊密封 XLC Series

    鋁製 高真空L型閥 複動/伸縮囊密封 XLC Series

    SMC

    【特長】・採用鋁製本體・均一的烤焙溫度・輕量・輕巧化・外洩空氣量少・重金屬污染少・對氟素氣體的腐蝕性強・伸縮囊可以更換

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    標準出貨日: 19天
  • 鋁製 高真空L型閥 手動/伸縮囊密封 XLH Series

    鋁製 高真空L型閥 手動/伸縮囊密封 XLH Series

    SMC

    壓力平衡構造,排氣方向自由的高真空型L型閥。【特長】・伸縮囊式無塵化・低操作扭矩(0.5N・m以下)・閥開閉時旋鈕高度一定・備有開關確認用的指示器・耐氟素強・輕量・輕巧・熱傳導率優異, 本體全體可達均一溫度, 生成物的附著急遽減少・因外洩空氣量少, 因此幫浦能力只要採用小型規格, 排氣時間也可縮短・不含Ni (鎳)、Cr(鉻)等重金屬,因濺射率也小, 因此晶圓片上的重金屬污染變少

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    標準出貨日: 8天
  • 緩和開啟閥(供給線) XVD Series

    緩和開啟閥(供給線) XVD Series

    SMC

    初期給氣、主給氣都可做流量調整的緩和開啟閥。【特長】・閥與針閥一體化構造配管空間1/4(既有比)・底座部採用金屬膜片,使粉塵大幅降低・閥的型式:常時閉(加壓開・彈簧密封)・使用流體:氮氣、空氣、惰性氣體等・使用溫度:5~60℃(烤焙溫度、150℃以下)・質量:0.5kg

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    標準出貨日: 19天
  • 鋁製 高真空L型閥 常時閉/伸縮囊密封 XLAV Series 附電磁閥

    鋁製 高真空L型閥 常時閉/伸縮囊密封 XLAV Series 附電磁閥

    SMC

    外洩空氣量少高真空閥。【特長】・採用鋁製本體・均一的烤焙溫度・輕量・輕巧化・重金屬污染少・對氟素氣體的腐蝕性強・伸縮囊可以更換(伸縮囊密封型)・降低了維修成本與減少了廢棄物的產生

    標準出貨日: 19天
  • 不鏽鋼製 高真空L型・直線型閥 二段控制・單動 伸縮囊密封・O形環密封 XMD・XYD

    不鏽鋼製 高真空L型・直線型閥 二段控制・單動 伸縮囊密封・O形環密封 XMD・XYD

    SMC

    防止幫浦過負荷運轉的高真空閥。【特長】・初期的排氣閥和主要排氣閥的一體化(流量二段控制閥)・實現系統的緊密化及省配管化・排氣時,防止隔離室內的灰塵揚起・可調整初期排氣閥的流量・本體材質:SCS13(相當於SUS304)・沒有氣體貯留的精密鑄造一體構造造・與鋁製高真空L型閥XL系列的安裝有互換性(XM Series)

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  • 鋁製 高真空L型閥 常時閉 O形環密封 XLFV Series 氣控型 附電磁閥

    鋁製 高真空L型閥 常時閉 O形環密封 XLFV Series 氣控型 附電磁閥

    SMC

    【特長】・採用鋁製本體・均一的烤焙溫度・輕量・輕巧化・外洩空氣量少・重金屬污染少・對氟素氣體的腐蝕性強

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  • 鋁製 高真空L型閥 常時閉 O形環密封 XLF Series

    鋁製 高真空L型閥 常時閉 O形環密封 XLF Series

    SMC

    【特長】・採用鋁製本體・均一的烤焙溫度・輕量・輕巧化・外洩空氣量少・重金屬污染少・對氟素氣體的腐蝕性強

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