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商品分類
鋁製 高真空L型閥 二段控制・單動/伸縮囊密封・O形環密封 XLD Series
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防止幫浦過負荷運轉的高真空L型閥。
【特長】
・初期的排氣閥和主要排氣閥的一體化（流量二段控制閥）
・實現系統的緊密化及省配管化
・排氣時，防止隔離室內的灰塵揚起
・可調整初期排氣閥的流量
・氣控式/附電磁閥
・因外洩空氣量少， 因此幫浦能力只要採用小型規格， 排氣時間也可縮短
・不含Ni （鎳）、Cr（鉻）等重金屬，因濺射率也小， 因此晶圓片上的重金屬污染變少
・對氟素有優異的耐腐蝕性
・熱傳導率優異， 本體全體可達均一溫度， 生成物的附著急遽減少。
・輕量・輕巧化
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型號
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| 型號 |
|---|
| XLD-25 |
| XLD-40 |
| XLD-40H0 |
| XLD-50-M9NA |
| XLD-50L-M9BA |
| XLD-80-M9NA |
| 型號 | 數量折扣 | 標準 出貨日 | 法蘭公稱 | 音速傳導率 | 操作孔口方向 | 溫度範圍 (℃) | 開關型式 | 開關數量 | 開關導線長度 (m) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 19天 | 25 | 14L/S | 法蘭側 | 5～60 | 無自動開關（無內建磁鐵） | 無自動開關 | - | ||
| 19天 | 40 | 45L/S | 法蘭側 | 5～60 | 無自動開關（無內建磁鐵） | 無自動開關 | - | ||
| 19天 | 40 | 45L/S | 法蘭側 | 5～150 | 無自動開關（無內建磁鐵） | 無自動開關 | - | ||
| 19天 | 50 | 80L/S | 法蘭側 | 5～60 | M9N | 附2個（檢測位置：閥開關） | 0.5 | ||
| 19天 | 50 | 80L/S | 法蘭面 背面 | 5～60 | M9B | 附2個（檢測位置：閥開關） | 0.5 | ||
| 19天 | 80 | 200L/S | 法蘭側 | 5～60 | M9N | 附2個（檢測位置：閥開關） | 0.5 |
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基本資訊
| 種類 | 氣動真空閥 | 用途 | 單體使用 | 設置方法 | 直接 |
|---|---|---|---|---|---|
| 孔口數 | 2口閥 | 切換種類 | 2位置常關 | 配管口的種類 | 法蘭 |
| 法蘭種類 | KF | 密封種類 | 波紋管密封 | 密封材質 | FKM（配合No.：1349-80） |
| 洩漏量(Pa・m3/s) | 內部：1.3×10的-10次方 外部：1.3×10的-11次方 | 本體表面處理 | 外部：硬質陽極處理，內部：素面 | 密封變更處 | 無 |
| 有無加熱器 | 無 |
- 因有部分型號的規格・尺寸無法完全顯示，詳細資訊請參照 廠牌產品型錄 。
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