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商品分類
真空閥（法蘭種類：KF）
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鋁製 高真空L型閥 二段控制・單動/伸縮囊密封・O形環密封 XLD Series
SMC
防止幫浦過負荷運轉的高真空L型閥。
【特長】
・初期的排氣閥和主要排氣閥的一體化（流量二段控制閥）
・實現系統的緊密化及省配管化
・排氣時，防止隔離室內的灰塵揚起
・可調整初期排氣閥的流量
・氣控式/附電磁閥
・因外洩空氣量少， 因此幫浦能力只要採用小型規格， 排氣時間也可縮短
・不含Ni （鎳）、Cr（鉻）等重金屬，因濺射率也小， 因此晶圓片上的重金屬污染變少
・對氟素有優異的耐腐蝕性
・熱傳導率優異， 本體全體可達均一溫度， 生成物的附著急遽減少。
・輕量・輕巧化標準出貨日: 19天 -
SMC
壓力平衡構造，排氣方向自由的高真空型L型閥。
【特長】
・伸縮囊式無塵化
・低操作扭矩（0.5N・m以下）
・閥開閉時旋鈕高度一定
・備有開關確認用的指示器
・耐氟素強
・輕量・輕巧
・熱傳導率優異， 本體全體可達均一溫度， 生成物的附著急遽減少
・因外洩空氣量少， 因此幫浦能力只要採用小型規格， 排氣時間也可縮短
・不含Ni （鎳）、Cr（鉻）等重金屬，因濺射率也小， 因此晶圓片上的重金屬污染變少標準出貨日: 8天 -
SMC
【特長】
・採用鋁製本體
・均一的烤焙溫度
・輕量・輕巧化
・外洩空氣量少
・重金屬污染少
・對氟素氣體的腐蝕性強
・伸縮囊可以更換標準出貨日: 19天 -
標準出貨日: 19天 -
不鏽鋼製 高真空L型・直線型閥 二段控制・單動 伸縮囊密封・O形環密封 XMD・XYD
SMC
防止幫浦過負荷運轉的高真空閥。
【特長】
・初期的排氣閥和主要排氣閥的一體化（流量二段控制閥）
・實現系統的緊密化及省配管化
・排氣時，防止隔離室內的灰塵揚起
・可調整初期排氣閥的流量
・本體材質：SCS13（相當於SUS304）
・沒有氣體貯留的精密鑄造一體構造造
・與鋁製高真空L型閥XL系列的安裝有互換性(XM Series)標準出貨日: 19天 -
標準出貨日: 19天 -
標準出貨日: 19天
| 廠牌 |
|---|
| 系列名稱 |
| CAD |
| 標準出貨日 |
| 種類 |
| 用途 |
| 設置方法 |
| 孔口數 |
| 電磁閥種類 |
| 切換種類 |
| 電磁閥驅動種類 |
| 有效截面積(mm2) |
| 配管口的種類 |
| 配管螺牙No. |
| 連接軟管直徑 |
| 法蘭種類 |
| 法蘭公稱 |
| CV值 |
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| 廠牌 | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC |
| 系列名稱 | |||||||
| CAD |
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| 標準出貨日 | 19天 | 8天 | 19天 | 19天 | 19天 | 19天 | 19天 |
| 種類 | 氣動真空閥 | 手動真空閥 | 引導真空閥 | 引導真空閥 | 引導真空閥 | 引導真空閥 | 高真空用電磁閥 |
| 用途 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 | 單體使用 |
| 設置方法 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 | 直接 |
| 孔口數 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 | 2口閥 |
| 電磁閥種類 | - | - | - | - | - | - | 單動 |
| 切換種類 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 | 2位置常關 |
| 電磁閥驅動種類 | - | - | - | - | - | - | 直動型 |
| 有效截面積(mm2) | - | - | - | - | - | - | - |
| 配管口的種類 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 | 法蘭 |
| 配管螺牙No. | - | - | - | - | - | - | - |
| 連接軟管直徑 | - | - | - | - | - | - | - |
| 法蘭種類 | KF | KF | KF | KF | KF | KF | KF |
| 法蘭公稱 | 25 / 40 / 50 / 80 | 16 | 25 | 25 / 40 | 40 | 25 | 25 |
| CV值 | - | - | - | - | - | - | - |
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篩選條件
篩選規格・尺寸
-
種類
- 高真空用電磁閥
- 手動真空閥
- 引導真空閥
- 氣動真空閥
-
用途
- 單體使用
-
設置方法
- 直接
-
孔口數
-
電磁閥種類
- 單動
-
切換種類
-
電磁閥驅動種類
-
有效截面積(mm2)
-
配管口的種類
-
配管螺牙No.
-
連接軟管直徑
-
法蘭種類
-
法蘭公稱
-
CV值
CAD檔案
-
- 2D
- 3D
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