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SMC
壓力平衡構造,排氣方向自由的高真空型L型閥。【特長】・伸縮囊式無塵化・低操作扭矩(0.5N・m以下)・閥開閉時旋鈕高度一定・備有開關確認用的指示器・耐氟素強・輕量・輕巧・熱傳導率優異, 本體全體可達均一溫度, 生成物的附著急遽減少・因外洩空氣量少, 因此幫浦能力只要採用小型規格, 排氣時間也可縮短・不含Ni (鎳)、Cr(鉻)等重金屬,因濺射率也小, 因此晶圓片上的重金屬污染變少
標準出貨日: | 8天 |
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SMC
初期給氣、主給氣都可做流量調整的緩和開啟閥。【特長】・閥與針閥一體化構造配管空間1/4(既有比)・底座部採用金屬膜片,使粉塵大幅降低・閥的型式:常時閉(加壓開・彈簧密封)・使用流體:氮氣、空氣、惰性氣體等・使用溫度:5~60℃(烤焙溫度、150℃以下)・質量:0.5kg
標準出貨日: | 19天 |
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