(!)由於 Microsoft 2022 年 6 月 15 日終止支援，Internet Explorer 11 不屬於本網站之推薦環境。
商品分類
- 2024/12/28(六)~2025/1/5(日)適逢日本年假期間暫停出貨。 建議提早備貨以減少對交期的影響, 同時預防連假後出貨量遽增產生延遲。
鋁製 高真空L型閥 二段控制・單動/伸縮囊密封・O形環密封 XLD Series
點擊圖片，放大顯示
將游標移至圖檔即可放大
防止幫浦過負荷運轉的高真空L型閥。
【特長】
・初期的排氣閥和主要排氣閥的一體化（流量二段控制閥）
・實現系統的緊密化及省配管化
・排氣時，防止隔離室內的灰塵揚起
・可調整初期排氣閥的流量
・氣控式/附電磁閥
・因外洩空氣量少， 因此幫浦能力只要採用小型規格， 排氣時間也可縮短
・不含Ni （鎳）、Cr（鉻）等重金屬，因濺射率也小， 因此晶圓片上的重金屬污染變少
・對氟素有優異的耐腐蝕性
・熱傳導率優異， 本體全體可達均一溫度， 生成物的附著急遽減少。
・輕量・輕巧化
(i)請注意
- 網頁上搜尋不到的SMC商品將會陸續公開販賣。
目前販賣商品僅限網頁可選型的商品。 - 網頁顯示之商品圖片為系列代表圖。詳細規格、材質請參照型錄內容。
- 部分型號無提供CAD圖檔。
型號
商品篩選結果為1件時，會顯示商品型號。
本頁所標註的為參考用的標準出貨日。確切的預定到貨日請以訂購完成通知書的資訊為準。
| 型號 |
|---|
| XLD-25 |
| XLD-40 |
| XLD-40H0 |
| XLD-50-M9NA |
| XLD-50L-M9BA |
| XLD-80-M9NA |
| 型號 | 數量折扣 | 標準 出貨日 | 法蘭公稱 | 音速傳導率 | 操作孔口方向 | 溫度範圍 (℃) | 開關型式 | 開關數量 | 開關導線長度 (m) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 19天 | 25 | 14L/S | 法蘭側 | 5～60 | 無自動開關（無內建磁鐵） | 無自動開關 | - | ||
| 19天 | 40 | 45L/S | 法蘭側 | 5～60 | 無自動開關（無內建磁鐵） | 無自動開關 | - | ||
| 19天 | 40 | 45L/S | 法蘭側 | 5～150 | 無自動開關（無內建磁鐵） | 無自動開關 | - | ||
| 19天 | 50 | 80L/S | 法蘭側 | 5～60 | M9N | 附2個（檢測位置：閥開關） | 0.5 | ||
| 19天 | 50 | 80L/S | 法蘭面 背面 | 5～60 | M9B | 附2個（檢測位置：閥開關） | 0.5 | ||
| 19天 | 80 | 200L/S | 法蘭側 | 5～60 | M9N | 附2個（檢測位置：閥開關） | 0.5 |
Loading...
基本資訊
| 種類 | 氣動真空閥 | 用途 | 單體使用 | 設置方法 | 直接 |
|---|---|---|---|---|---|
| 孔口數 | 2口閥 | 切換種類 | 2位置常關 | 配管口的種類 | 法蘭 |
| 法蘭種類 | KF | 密封種類 | 波紋管密封 | 密封材質 | FKM（配合No.：1349-80） |
| 洩漏量(Pa・m3/s) | 內部：1.3×10的-10次方 外部：1.3×10的-11次方 | 本體表面處理 | 外部：硬質陽極處理，內部：素面 | 密封變更處 | 無 |
| 有無加熱器 | 無 |
- 因有部分型號的規格・尺寸無法完全顯示，詳細資訊請參照 廠牌產品型錄 。
此分類還有這些商品
技術支援服務
- FA用機械標準零件
- Tel：02-25703766 / FAX：02-25703767
- 與我們聯絡
請協助改善本網站
請協助改善本網站
對於各位顧客的寶貴意見請恕我們無法逐一回覆，還請諒解。
個人資訊保護法・隱私權政策
非常感謝您的回答。
對於各位顧客的寶貴意見請恕我們無法逐一回覆，還請諒解。
希望三住回覆的客戶請使用、 與我們聯絡
個人資訊保護法・隱私權政策