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商品分類
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對應高真空度等級型開關 (型號表)
METROL CONTACT SWITCHES
10^-5Pa 對應高真空度等級定位開關。
【特長】
・僅使用低排氣對應零件製造，高真空環境專用的定位開關。
【用途】
・檢測真空室的半導體晶圓有無。
・可用於真空成膜裝置、太陽光發電（PV）真空裝置的玻璃基板定位。
・可用於FPD專用的真空鍍膜裝置的玻璃基板對準或光罩托盤定位檢測、載具的原點定位。
・大型半導體製造裝置製造商相繼採用。
型號
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GN-PT5M3A
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對應高真空度等級型開關 GN系列
僅使用低排氣對應零件製造，高真空環境專用的定位接觸開關
機種產品系列
| 型式名稱 | 動作型態 | 纜線方向 |
|---|---|---|
| GN-PT5M3A | A：NO | 直柱型 |
| GN-PT5M3B | B：NC | |
| GN-PT5M3A-R | A：NO | 直角 |
| GN-PT5M3B-R | B：NC |
規格
| 接點構造 | 接點型 |
|---|---|
| 動作型態 | A：NO/B：NC |
| 動作點的重複精度 | ON⇄OFF皆為0.003mm（範圍） |
| 對應真空度/烘烤容許溫度 | 10-5Pa/120℃ |
| 到作動為止的移動 | 約0.3（A：NO）/無（B：NO） |
| 遲滯 | 0 |
| 接點精度壽命 | 300萬次 |
| 行程 | 1.5mm |
| 接觸力 | 0.5N |
| 接點額定 | DC5V～DC24V 穩定電流10mA以下(湧入電流20mA以下) |
真空環境下的定位應用
真空室
半導體晶圓有無的檢測
真空成膜裝置
玻璃基板的定位
太陽能發電（PV）真空裝置
玻璃基板的定位
針對FPD真空成膜裝置
玻璃基板的對齊
針對FPD真空成膜裝置
罩板的托盤定位檢測
針對FPD真空成膜裝置
搜尋台車原點
對應高真空度等級型開關使用實例
真空屋內檢測半導體晶圓有無
光電感應器可由觀察孔檢測，但蒸鍍時的蒸氣會導致造成檢測錯誤。
若使用對應高真空度等級型開關，在真空環境下也可檢測。
基本資訊
| 環境 | 真空 | 反覆精度 | 0.003mm | 接點部材質 | SUS HRC45 |
|---|---|---|---|---|---|
| 本體材質 | SUS304 | 接觸力(N) | 0.5 | 螺絲公稱 (M) | M5×0.5 |
| 保護構造 | IP40 | 行程(mm) | 1.5 | 前端徑 | φ1.5 |
| 本體形狀 | 螺栓型 | 前端形狀 | R接點 | 接點精度壽命(萬次) | 300 |
| 型式 | 銷行程形・彈簧定位柱型 | LED | 無 | 對應真空度 | 10^-5Pa |
| 烘烤容許溫度 | 120℃ |
對應高真空度等級型開關的型號GN-PT5M3A頁面。
記載關於型號GN-PT5M3A之規格、尺寸、型式情報。
- 因有部分型號的規格・尺寸無法完全顯示，詳細資訊請參照 廠牌產品型錄 。
本商品分類
| 型號 |
|---|
| GN-PT5M3A-R |
| GN-PT5M3B |
| GN-PT5M3B-R |
| 型號 | 數量折扣 | 標準 出貨日 | 動作點 (mm) | 接點種類 | 電纜線方向 |
|---|---|---|---|---|---|
| 12天～ | 0.3 | 接點式 NO | 直角 | ||
| 22天～ | 0 | 接點式 NC | 直柱型 | ||
| 12天～ | 0 | 接點式 NC | 直角 |
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