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【自動】XY軸　線性鋼珠 (型號表)

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查看此商品之常見問題 ( 6件 )

MISUMI

高精密度‧高剛性的自動XY軸精密滑台。
[Motorized] XY-Axis, Linear Ball Slide

型號

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尺寸圖・規格表
3D預覽
型號表
概要・規格
技術資訊

材質　相當於SUS440C
表面處理　鍍無電解鎳

規格表

型式	−	感應器選擇	−	馬達	−	纜線
XYMSG413	−	LA5	−	C	−	N
XYMSG715	−	RC5	−	PA	−	P

3D預覽型號

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顯示件數: 30件; 60件; 90件

型號
XYMSG530-RB24-C-N
XYMSG530-RB24-D-N
XYMSG530-RB24-E-N
XYMSG530-RB24-MA-M
XYMSG530-RB24-PA-P
XYMSG530-RB24-UA-U
XYMSG530-RC5-C-N
XYMSG530-RC5-D-N
XYMSG530-RC5-E-N
XYMSG530-RC5-MA-M
XYMSG530-RC5-PA-P
XYMSG530-RC5-UA-U
XYMSG530-RC24-C-N
XYMSG530-RC24-D-N
XYMSG530-RC24-E-N
XYMSG530-RC24-MA-M
XYMSG530-RC24-PA-P
XYMSG530-RC24-UA-U
XYMSG615-LA5-C-N
XYMSG615-LA5-D-N
XYMSG615-LA5-E-N
XYMSG615-LA5-MA-M
XYMSG615-LA5-PA-P
XYMSG615-LA5-UA-U
XYMSG615-LA24-C-N
XYMSG615-LA24-D-N
XYMSG615-LA24-E-N
XYMSG615-LA24-MA-M
XYMSG615-LA24-PA-P
XYMSG615-LA24-UA-U
XYMSG615-LB5-C-N
XYMSG615-LB5-D-N
XYMSG615-LB5-E-N
XYMSG615-LB5-MA-M
XYMSG615-LB5-PA-P
XYMSG615-LB5-UA-U
XYMSG615-LB24-C-N
XYMSG615-LB24-D-N
XYMSG615-LB24-E-N
XYMSG615-LB24-MA-M
XYMSG615-LB24-PA-P
XYMSG615-LB24-UA-U
XYMSG615-LC5-C-N
XYMSG615-LC5-D-N
XYMSG615-LC5-E-N
XYMSG615-LC5-MA-M
XYMSG615-LC5-PA-P
XYMSG615-LC5-UA-U
XYMSG615-LC24-C-N
XYMSG615-LC24-D-N
XYMSG615-LC24-E-N
XYMSG615-LC24-MA-M
XYMSG615-LC24-PA-P
XYMSG615-LC24-UA-U
XYMSG615-RA5-C-N
XYMSG615-RA5-D-N
XYMSG615-RA5-E-N
XYMSG615-RA5-MA-M
XYMSG615-RA5-PA-P
XYMSG615-RA5-UA-U
XYMSG615-RA24-C-N
XYMSG615-RA24-D-N
XYMSG615-RA24-E-N
XYMSG615-RA24-MA-M
XYMSG615-RA24-PA-P
XYMSG615-RA24-UA-U
XYMSG615-RB5-C-N
XYMSG615-RB5-D-N
XYMSG615-RB5-E-N
XYMSG615-RB5-MA-M
XYMSG615-RB5-PA-P
XYMSG615-RB5-UA-U
XYMSG615-RB24-C-N
XYMSG615-RB24-D-N
XYMSG615-RB24-E-N
XYMSG615-RB24-MA-M
XYMSG615-RB24-PA-P
XYMSG615-RB24-UA-U
XYMSG615-RC5-C-N
XYMSG615-RC5-D-N
XYMSG615-RC5-E-N
XYMSG615-RC5-MA-M
XYMSG615-RC5-PA-P
XYMSG615-RC5-UA-U
XYMSG615-RC24-C-N
XYMSG615-RC24-D-N
XYMSG615-RC24-E-N
XYMSG615-RC24-MA-M
XYMSG615-RC24-PA-P
XYMSG615-RC24-UA-U

標準出貨日	RoHS	馬達・馬達特性	解析度 (μm)	滑座長度 (mm)	滑座寬度 (mm)	行程(X距離) (mm)	行程(Y距離) (mm)	耐荷重 (N)	最高速度 (mm/sec)	定位精密度 (μm)	滑座真直度 (μm)	力矩剛性（俯仰） ("/N・cm)	力矩剛性（橫擺） ("/N・cm)	力矩剛性（側傾） ("/N・cm)	感應器	感應器選擇	傳輸線	導程
8天～	10	5相步進馬達	2μm	70	50	30	30	88.5	10	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RB24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	70	50	30	30	88.5	15	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RB24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	70	50	30	30	88.5	12.5	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RB24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	70	50	30	30	88.5	10	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RB24	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	70	50	30	30	88.5	17.5	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點	RB24	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	70	50	30	30	88.5	25	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點	RB24	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	70	50	30	30	88.5	10	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RC5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	70	50	30	30	88.5	15	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RC5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	70	50	30	30	88.5	12.5	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RC5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	70	50	30	30	88.5	10	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RC5	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	70	50	30	30	88.5	17.5	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點	RC5	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	70	50	30	30	88.5	25	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點	RC5	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	70	50	30	30	88.5	10	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RC24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	70	50	30	30	88.5	15	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RC24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	70	50	30	30	88.5	12.5	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RC24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	70	50	30	30	88.5	10	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點+近接原點	RC24	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	70	50	30	30	88.5	17.5	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點	RC24	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	70	50	30	30	88.5	25	12	2	0.12	0.13	0.1	限度+原點	RC24	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LA5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LA5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LA5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LA5	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LA5	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LA5	サーボモータ用（付属）	-
6天	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LA24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LA24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LA24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LA24	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LA24	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LA24	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LB5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LB5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LB5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LB5	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LB5	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LB5	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LB24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LB24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LB24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LB24	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LB24	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LB24	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LC5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LC5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LC5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LC5	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LC5	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LC5	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LC24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LC24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LC24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	LC24	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LC24	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	LC24	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RA5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RA5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RA5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RA5	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RA5	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RA5	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RA24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RA24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RA24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RA24	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RA24	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RA24	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RB5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RB5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RB5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RB5	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RB5	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RB5	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RB24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RB24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RB24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RB24	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RB24	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RB24	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RC5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RC5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RC5	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RC5	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RC5	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RC5	サーボモータ用（付属）	-
8天～	10	5相步進馬達	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RC24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高扭矩	2μm	60	60	15	15	91.1	15	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RC24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達高分解能	1μm	60	60	15	15	91.1	12.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RC24	N（無纜線、另售）	1
8天～	10	5相步進馬達附制動器	2μm	60	60	15	15	91.1	10	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點+近接原點	RC24	M(附制動器用）	1
8天～	10	αstep馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	17.5	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RC24	P（αstep用)	1
8天～	-	AC伺服馬達	1μm	60	60	15	15	91.1	25	6	1	0.08	0.07	0.03	限度+原點	RC24	サーボモータ用（付属）	-

規格概要

【自動】XY軸　線性鋼珠:關聯圖像

基本資訊

型式	自動XY軸滑台	材質	SUS440C	滑軌	線性鋼珠式導引
滑座進給方式	滾珠螺桿	表面處理	鍍無電解鎳	穿透孔(滑座中心孔)	無
耐荷重（範圍）(N)	50.1～100

篩選條件

576 有候補商品型號

顯示候補商品

有尚未確認的規格。

已確定型號

篩選規格・尺寸

馬達・馬達特性
- 5相步進馬達
- 5相步進馬達高扭矩
- 5相步進馬達高分解能
- 5相步進馬達附制動器
- αstep馬達
- AC伺服馬達
清除
解析度(μm)
1μm

2μm
清除
滑座長度(mm)
40

50

60

70

100

110
清除
滑座寬度(mm)
40

50

60

70
清除
行程(X距離)(mm)
13

15

30

50
清除
行程(Y距離)(mm)
13

15

30

50
清除
耐荷重(N)
82.7

84.4

88.5

89.2

90.5

91.1

92.1

93.1
清除
定位精密度(μm)
6

12
清除
感應器
- 限度+原點
- 限度+原點+近接原點
清除
感應器選擇
- LA5
- LB5
- LC5
- RA5
- RB5
- RC5
- LA24
- LB24
- LC24
- RA24
- RB24
- RC24
清除
傳輸線
- M(附制動器用）
- N（無纜線、另售）
- P（αstep用)
- サーボモータ用（付属）
清除
類型
- XYMSG413
- XYMSG430
- XYMSG513
- XYMSG530
- XYMSG615
- XYMSG650
- XYMSG715
- XYMSG750
清除
CAD檔案
- 2D
- 3D
清除

用出貨日篩選

全選

6天以内

7天以内

8天以内
清除

可指定追加工

因有部分型號的規格・尺寸無法完全顯示，詳細資訊請參照廠牌產品型錄。

常見問題 ( FAQ )

質問: 購買Misumi自動滑台後，是否就可以直接使用？實際驅動還需要哪些附件配合使用嗎？: 回答: 客戶除了購買Misumi自動滑台本體之外，需要再購買驅動器和電纜（帶剎車型馬達的自動滑台除外）。另外，客戶自行得準備24V電源及控制單元（如PLC定位組件/PC＋運動控制卡等）。
質問: 為何我購買的自動滑台運行時總是失步？: 回答: 可能造成滑台馬達失步的原因有靜負荷過大或動負荷變動過大；起動脈衝頻率過高（起步速度過快）；加速（減速）時間過短；受外部電磁干擾等，請逐一進行排查確認。
質問: 為何TIMING無信號？: 回答: TIMING無信號，是因為切換了C/S（步距角切換)。 C/S切換必須在TIMING有信號時進行，所以最快的解決辦法是電源關，再開後切換C/S。
質問: 為何馬達自啟動運轉時的移動速度很緩慢？: 回答: 這是因為平滑驅動功能的影響。請將平滑驅動功能設定為OFF後再確認。
質問: 馬達沒有勵磁，馬達的輸出軸可以用手轉動?: 回答: 可能原因有：馬達線或電源線接線錯誤，請確認驅動器和馬達短好電源的連接是否正確；電流調整鈕調整錯誤，電流設定值過小時，馬達扭矩會變小而造成運轉不穩定，請恢復電流調整鈕的出廠值之後再確認；A.W.OFF（勵磁電流關）誤設為ON，請調整至OFF，然後再確認馬達是否有勵磁。
質問: 什麼是解析度？解析度的全步進、半步進、微步進是什麼意思？: 回答: 解析度是指1個脈波信號的滑台移動量。全步進是指滑台在步進馬達1/1標準步進角下的進給運動。半步進是指滑台馬達的步進角分割成1/2標準步進角下的進給運動。微步進是指滑台馬達的步進角分割成1/N標準步進角下的進給運動（N為正整數1、2、2.5、4、5、8、10、20、25、40、50、80、100、125、200、250）。